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鎢燈絲掃描電子顯微鏡 檢測服務中心面向集成電路、電子元器件、半導體、PCBA、LED、汽車電子、新材料等,為客戶提供包括無損分析、失效分析、物理性能測試、微納分析、可靠性與壽命評估、工藝制程等在內的技術解決方案。


鎢燈絲掃描電子顯微鏡

型號Inspect S


廠家:美國FEI

主要用途在高真空、低真空環境對樣品各種材料的形貌組織觀察、金屬材料斷口分析和失效分析。
性能指標1.加速電壓:200V-30 kV2.放大倍數:7-1,000,000
3.可在高真空、低真空(270Pa) 下觀察樣品
樣品室284mm
分辨率

高真空 - 3.0nm at 30kV (SE)

       - 4.0nm at 30kV (BSE)

       - 10.0nm at 3kV (SE

低真空 - 3.0nm at 30kV (SE)

       - 12.0nm at 3kV (SE)

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